ＵＬＶＡＣ　単相１００Ｖ　ダイアフラム型ドライ真空ポンプ

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ＵＬＶＡＣ　単相１００Ｖ　ダイアフラム型ドライ真空ポンプ

販売価格 400,000円(税込440,000円)

商品ID：128153713
型番：DAU-20 8740

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■メーカー：アルバック機工（株）
■型番：DAU20
■JANコード：-
■発注コード：-
■特長：●ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。●複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。
■用途：●広域型ターボ分子ポンプ、クライオポンプ排気系、メカニカルブースターポンプのバックポンプ。●ロードロック室排気。●吸着搬送、ハンドリング。●レーザーガス循環・排気用。●真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置。
■仕様1：●吸気口径(mm)：10●寸法(mm)：161×327×217●騒音値(dB)：-●電源(V)：単相100●到達圧力(Pa)：200●排気速度(L/min)50/60Hz：20/23
■仕様2：●3段排気方式●接ガス部耐食性●異電圧対応可能(要相談)●到達圧力(KPa)：0.2●吸排気管径(mm)：O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8)●最大寸法(mm)：161(W)×327(L)×218(H)
■材質/仕上：-
■セット内容：-
■注意点：●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。
■原産国：日本
■重量：7.5kg
■発注単位：1台
■納期：【お取り寄せ・お問い合わせ下さい】